INDICADOR CAPACITIVO DE PRESSAO

The transducer comprises a profile- etched metallic diaphragm (7) the peripheral zone (6) of which is left unetched for mounting the diaphragm on an Al2O3 base plate (1) in an air-tight and pressure-tight manner; and a thin metallic film (2) applied to the adjacent surface of the base plate, the dia...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: PITEIRA F, BURKEL R
Format: Patent
Sprache:por
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