PROCESSO E REATOR DE PLASMA PARA O TRATAMENTO TERMOQUÍMICO DA SUPERFÍCIE DE PEÇAS METÁLICAS

O reator (R) tem uma câmara de reação (RC) provida de um suporte (S) para as peças metálicas (1) e de um sistema de anodo (2), conectado a um aterramento (2b), e de cátodo (3) conectado ao suporte (S) e a uma fonte de energia CC pulsada (10). Na câmara de reação (RC) aquecida e alimentada com uma ca...

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Hauptverfasser:	THIAGO DE SOUZA LAMIM, CRISTIANO BINDER, ROBERTO BINDER, ALOÍSIO NELMO KLEIN, EUCLIDES ALEXANDRE BERNARDELLI, GISELE HAMMES
Format:	Patent
Sprache:	por
Schlagworte:	APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	O reator (R) tem uma câmara de reação (RC) provida de um suporte (S) para as peças metálicas (1) e de um sistema de anodo (2), conectado a um aterramento (2b), e de cátodo (3) conectado ao suporte (S) e a uma fonte de energia CC pulsada (10). Na câmara de reação (RC) aquecida e alimentada com uma carga de gás, é formado, por descarga elétrica no catodo (3), um plasma gasoso. Um precursor líquido ou gasoso é admitido em pelo menos uma câmara tubular de craqueamento (20) associada a uma fonte de energia de alta tensão (30). Pode ser provida pelo menos uma câmara tubular de pulverização catódica (40) associada a uma fonte de energia elétrica (50) recebendo um precursor sólido. Uma diferença de potencial é aplicada entre o anodo (2) e uma e/ou outra de ditas câmaras tubulares (20,40), para liberar os elementos de liga a serem ionicamente bombardeados contra as peças metálicas (1), simultânea ou individualmente e em qualquer ordem.