Atenuador resistente à corrosão para embalagem acústica de filme fino aperfeiçoada (tfap)

atenuador resistente à corrosão para embalagem acústica de filme fino aperfeiçoada (tfap). um aparelho e método para fabricar um pacote de filtro acústico onde o aparelho inclui uma camada de base; uma camada de suporte disposta sobre a camada de base; uma estrutura piezoelétrica disposta sobre a camada de suporte; em que a estrutura piezoelétrica compreende: uma camada piezoelétrica; um eletrodo de topo em uma superfície de topo da camada piezoelétrica; um eletrodo inferior em uma superfície inferior da camada piezoelétrica; um atenuador de contato acoplado ao eletrodo inferior que estende através de uma abertura na camada piezoelétrica e é acoplado ao eletrodo inferior ou o eletrodo de topo; e um atenuador resistente à corrosão disposto no atenuador de contato; e uma estrutura de coroamento disposta sobre a estrutura piezoelétrica. An apparatus and method for making an acoustic filter package where the apparatus includes a base layer; a support layer disposed on the base layer; a piezoelectric structure disposed on the support layer; wherein the piezoelectric structure comprises: a piezoelectric layer; a top electrode on a top surface of the piezoelectric layer; a bottom electrode on a bottom surface of the piezoelectric layer; a contact pad coupled to the bottom electrode that extends through an opening in the piezoelectric layer and is coupled to the bottom electrode or the top electrode; and a corrosion resistant pad disposed on the contact pad; and a capping structure disposed on the piezoelectric structure.