método para depositar um revestimento conformal, revestimento conformal disposto em uma estrutura tubular e sistema para formar um revestimento conformal

método para depositar um revestimento conformal, revestimento conformal disposto em uma estrutura tubular e sistema para formar um revestimento conformal em uma estrutura tubular. a presente invenção refere-se a um método para depositar um revestimento que inclui criar um vácuo dentro de um volume i...

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Hauptverfasser: RONGHUA WEI, GREGORY J. HATTON, MICHAEL A. MILLER
Format: Patent
Sprache:por
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Beschreibung
Zusammenfassung:método para depositar um revestimento conformal, revestimento conformal disposto em uma estrutura tubular e sistema para formar um revestimento conformal em uma estrutura tubular. a presente invenção refere-se a um método para depositar um revestimento que inclui criar um vácuo dentro de um volume interior de uma estrutura tubular, sendo que a estrutura tubular também inclui uma superfície interna. um gás é fornecido para o volume interior da estrutura tubular, sendo que o gás inclui um precursor de plasma ne fase de gás. a estrutura tubular é enviesada relativo ao chão. o plasma tendo uma densidade é formado e posicionado cilindricamente ao longo do comprimento da estrutura tubular. os íons positivos do gás precursor de plasma são gerados e são depositados na superfície interna formando um revestimento na superfície interna, sendo que o revestimento exibe um ângulo de contato com a água maior do que 120º. A method for depositing a coating includes creating a vacuum within an interior volume of a tubular structure, wherein the tubular structure also includes an internal surface. Gas is supplied to the interior volume of the tubular structure, wherein the gas includes a plasma precursor in the gas phase. The tubular structure is biased relative to ground. Plasma having a density is formed and cyclically positioned along the length of the tubular structure. Positive ions of the plasma precursor gas are generated and are deposited on the internal surface forming a coating on the internal surface, wherein the coating exhibits a water contact angle of greater than 120°.