CONJUNTO DE SENSOR

CONJUNTO DE SENSOR, um conjunto de sensor tendo um par de sensores e um par de alvos de sensor. Cada um dos sensores é um sensor de corrente de Foucault que define eixos X, Y que são ortogonais entre si tal que os eixos-X são alinhados a um eixo de movimento ao longo de uma estrutura que é para ser movida. Os alvos de sensor são acoplados entre si para movimento comum e são formados de um material eletricamente condutivo que é configurado para interagir com um dos respectivos sensores de corrente de Foucault para fazer os sensores produzirem sinais de sensor em que cada um varia numa maneira distinta com movimento dos alvos paralelos ao eixo de movimento. Os alvos são configurados tal que seu movimento coordenado numa direção paralela aos eixos-Z como eles são movidos ao longo do eixo de movimento não tem nenhum efeito em determinada localização da estrutura. Um método também é fornecido. A method that includes: providing a structure that is movable along a first axis; coupling a sensor assembly to the structure, the sensor assembly comprising first and second eddy current sensors and first and second targets that are mounted to the structure for movement along the first axis; sensing the first target with the first eddy current sensor and responsively generating a first sensor signal; sensing the second target with the second eddy current sensor and responsively generating a second sensor signal; and using the first and second sensor signals to determine a location of the structure along the first axis in a manner that is insensitive to coordinated movement of the first and second targets along a second axis that is perpendicular to the first axis and a third axis that is perpendicular to both the first and second axes.