SENSOR DE PRESSÃO ACOPLADO ELETROSTATICAMENTE

SENSOR DE PRESSÃO ACOPLADO ELETROSTATICAMENTE A presente invenção refere-se a um sensor sensível à pressão relatado que inclui um elemento flexível contido dentro de um invólucro e uma membrana configurada para exercer uma força eletrostática no elemento flexível para levar o elemento flexível a responder às variações da pressão na membrana. Um método de detecção de pressão relatado inclui o acoplamento elestrotaticamente de uma membrana a um elemento flexível contido dentro de um invólucro para transferir uma resposta à pressão da membrana para o elemento flexível. O movimento do elemento flexível é convertido em um sinal de pressão. A disclosed pressure-responsive sensor includes a flexible element contained within an enclosure and a membrane configured to exert an electrostatic force on the flexible element to cause the flexible element to respond to pressure variations on the membrane. A disclosed pressure-sensing method includes electrostatically coupling a membrane to a flexible element contained within an enclosure to transfer a pressure response of the membrane to the flexible element. Motion of the flexible element is converted into a pressure signal.