DEVICE FOR VACCUM EVAPROATION OF ORGANIC MATERIALS

Устройството е предназначено за процеси и технологии, свързани със създаването на тънки и свръхтънки органични слоеве за микроелектрониката, оптоелектрониката, микромеханиката и други. С него се постигат и управляват подходящи скорости на масовия поток чрез горещ иглен вентил, регулиращ потока на вещество, постъпващо в изпарител. Строго регулираното количество органично вещество в течната органична фаза се изпарява и постъпва в ламинатор, където потокът пари се хомогенизира и насочва върху подложката за кондензация. В ламинатора могат да постъпват пари от няколко източника, съдържащи еднаквиили различни по състав органични вещества. The device is designed for processes and technologies relatedto the formation of thin and super thin organic films formicroelectronics, optoelectronics, micromechanics, etc. It attainsand controls suitable speeds of the mass flow by a hot needlevalve regulation the flow of the substance entering an evaporator.The strictly regulated quantity of organic substance in the liquidorganic phase is evaporated and enters a laminator where thevapours flow is homogenized and directed onto the condensationsubstrate. Vapours of several sources containing the same ororganic substances of different composition can enter thelaminator.1 claim, 1 figure