Transportvorrichtung für Substrate mit bewegbaren Niederhaltern

Eine Transportvorrichtung (1) zum Transportieren von Substraten (2; 2'; 2") entlang zumindest einer Führung (100A, 100B) umfasst: einen Rahmen (10) und zumindest einen Niederhalter (16A, 16B), der relativ zum Rahmen (10) aus einer Ablageposition, in der ein Durchgangsbereich (B) freigegebe...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GRETSCHER JÜRGEN, ESSLINGER MICHAEL, MATZKOVITS ERICH
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Eine Transportvorrichtung (1) zum Transportieren von Substraten (2; 2'; 2") entlang zumindest einer Führung (100A, 100B) umfasst: einen Rahmen (10) und zumindest einen Niederhalter (16A, 16B), der relativ zum Rahmen (10) aus einer Ablageposition, in der ein Durchgangsbereich (B) freigegeben ist, sodass ein Substrat (2; 2'; 2") entlang einer Ablagerichtung (R) durch den Durchgangsbereich (B) auf der zumindest einen Führung (100A, 100B) ablegbar ist, in eine Niederhalteposition bewegbar ist, in der der zumindest eine Niederhalter (16A, 16B) im Durchgangsbereich (B) angeordnet ist, sodass eine Bewegung des auf der zumindest einen Führung (100A, 100B) abgelegten Substrats (2; 2'; 2") entgegen der Ablagerichtung (R) blockiert ist.