Transportvorrichtung für Substrate mit bewegbaren Niederhaltern
Eine Transportvorrichtung (1) zum Transportieren von Substraten (2; 2'; 2") entlang zumindest einer Führung (100A, 100B) umfasst: einen Rahmen (10) und zumindest einen Niederhalter (16A, 16B), der relativ zum Rahmen (10) aus einer Ablageposition, in der ein Durchgangsbereich (B) freigegebe...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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Zusammenfassung: | Eine Transportvorrichtung (1) zum Transportieren von Substraten (2; 2'; 2") entlang zumindest einer Führung (100A, 100B) umfasst: einen Rahmen (10) und zumindest einen Niederhalter (16A, 16B), der relativ zum Rahmen (10) aus einer Ablageposition, in der ein Durchgangsbereich (B) freigegeben ist, sodass ein Substrat (2; 2'; 2") entlang einer Ablagerichtung (R) durch den Durchgangsbereich (B) auf der zumindest einen Führung (100A, 100B) ablegbar ist, in eine Niederhalteposition bewegbar ist, in der der zumindest eine Niederhalter (16A, 16B) im Durchgangsbereich (B) angeordnet ist, sodass eine Bewegung des auf der zumindest einen Führung (100A, 100B) abgelegten Substrats (2; 2'; 2") entgegen der Ablagerichtung (R) blockiert ist. |
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