Magnetsystem, Sputtervorrichtung und Gehäusedeckel

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Magnetsystem (100) aufweisen: ein Gehäuse (406g), welches einen Gehäuseinnenraum (406h) aufweist; einen Magnetträger (102), welcher in dem Gehäuseinnenraum (406h) angeordnet und mittels des Gehäuses (406g), vorzugsweise ortsfest zu diesem, abgestützt is...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GROSSER GÖTZ, SANDER THORSTEN, MEISSNER FRANK, SCHNEIDER KLAUS, MOSSHAMMER STEFFEN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BLASTING CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GEARING GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION THERMAL INSULATION IN GENERAL WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Magnetsystem (100) aufweisen: ein Gehäuse (406g), welches einen Gehäuseinnenraum (406h) aufweist; einen Magnetträger (102), welcher in dem Gehäuseinnenraum (406h) angeordnet und mittels des Gehäuses (406g), vorzugsweise ortsfest zu diesem, abgestützt ist; einen Gehäusedeckel (406d), welcher zusammengefügt mit dem Gehäuse (406g) eine fluiddichte Kammer bildet; wobei der Gehäusedeckel (406d) eine Getriebestufe (804), einen Generator (308) und eine Drehdurchführung (850), welche die Getriebestufe (804) mit dem Generator (308) kuppelt, aufweist. Disclosed herein are systems, methods, devices for a magnet system that includes a housing with a housing interior. The magnet system also includes a magnet holder disposed in the housing interior and supported by the housing, preferably stationary with respect thereto. The magnet system also includes a housing cover forming a fluid-tight chamber when mated with the housing, wherein the housing cover includes a gear stage, a generator, and a rotary coupling that couples the gear stage to the generator.