SEL, GENERATEUR D'ACIDE, COMPOSITION DE RESIST ET PROCEDE DE PRODUCTION DE MOTIF DE RESIST

L'invention concerne un sel capable de produire un motif de résist avec une rugosité de bord de ligne (LER) satisfaisante, un générateur d'acide et une composition de résist. Un sel représenté par la formule (I), telle que définie dans la revendication 1, un générateur d'acide et une...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	ICHIKAWA KOJI, KOMURO KATSUHIRO
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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