SEL, GENERATEUR D'ACIDE, COMPOSITION DE RESIST ET PROCEDE DE PRODUCTION DE MOTIF DE RESIST

L'invention concerne un sel capable de produire un motif de résist avec une rugosité de bord de ligne (LER) satisfaisante, un générateur d'acide et une composition de résist. Un sel représenté par la formule (I), telle que définie dans la revendication 1, un générateur d'acide et une composition de résist où, dans la formule (I), R1 et R 2 représentent chacun un groupe hydroxy, *-O-R10 , *-O- L10 -CO-O-R10 , etc.; L 10 représente un groupe alcanediyle ; R10 représente un groupe labile en milieu acide; R4, R5, R6, R7 et R8 représentent chacun un atome d'halogène, un groupe haloalkyle ou un groupe hydrocarboné ; A1 et A2 représentent chacun un groupe hydrocarboné, qui peut avoir un substituant, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O-, -CO-, -S- ou -SO2- ; m1 représente un entier de 1 à 5, m4, m5 et m7 représentent un entier de 0 à 5, m4, m5 et m7 représentent un entier de 0 à 4, 1 ≤ m1 + m7 ≤ 5, 0 ≤ m2 + m8 ≤ 5; et AI - représente un anion organique. Disclosed are a salt represented by formula (I), an acid generator, and a resist composition comprising the same:wherein R1 and R2 each represent a hydroxy group, *-O-R10, *-O-L10-CO-O-R10; L10 represents an alkanediyl group; R10 represents an acid-labile group; R4, R5, R7 and R8 each represent a halogen atom, a haloalkyl group or a hydrocarbon group; A1 and A2 each represent a hydrocarbon group, the hydrocarbon group may have a substituent, and -CH2- included in the hydrocarbon group may be replaced by -O-, -CO-, -S- or -SO2-; m1 represents an integer of 1 to 5, m2 and m8 represent an integer of 0 to 5, m4, m5 and m7 represent an integer of 0 to 4, 1≤m1+m7≤5, 0≤m2+m8≤5; and AI− represents an organic anion.