Procédé de traitement d'un substrat et dispositif de circuit intégré

Un substrat (100) a un côté avant (101) comprenant un circuit électrique (102) et un côté arrière (103) comprenant une zone exposée (104) qui fait face au circuit électrique (102). Dans une étape de traitement électrochimique, un potentiel électrique est appliqué latéralement au moins à la zone expo...

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Hauptverfasser: RASSON JONATHAN, RASKIN JEAN-PIERRE, SCHEEN GILLES
Format: Patent
Sprache:fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Un substrat (100) a un côté avant (101) comprenant un circuit électrique (102) et un côté arrière (103) comprenant une zone exposée (104) qui fait face au circuit électrique (102). Dans une étape de traitement électrochimique, un potentiel électrique est appliqué latéralement au moins à la zone exposée (104) du côté arrière (103) du substrat (100), tandis que la zone exposée (104) est en contact avec une substance chimiquement réactive (404). Le potentiel électrique provoque un flux latéral de courant électrique au moins dans la zone exposée (104) du substrat (100). Le flux latéral de courant électrique et la substance chimiquement réactive (404) altèrent le substrat (100) dans au moins la zone exposée (104). A substrate (100) has a front side (101) comprising an electrical circuit (102) and a rear side (103) comprising an exposed zone (104) that faces the electrical circuit (102). The substrate is electrochemically treated by laterally applying an electrical potential at least to the exposed zone (104) of the rear side (103) of the substrate (100), while the exposed zone (104) is in contact with a chemically reactive substance (404). The electrical potential causes an electrical current that flows laterally in the exposed zone (104) and passes through the chemically reactive substance (404). The electrical current and the chemically reactive substance (404) alter the substrate (100) starting from the exposed zone (104) on the rear side (103) inwardly toward the front side (103).