Fabrication of semiconductor devices with air gaps for ultra low capacitance interconnections and methods of making same

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	CLIFFORD LEE HENDERSON, DHANANJAY M. BHUSARI, SUE ANN BIDSTRUP ALLEN, PAUL ALBERT KOHL, HOLLIE ANNE REED
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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