Holographic patterning method and tool employing prism coupling

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ADAM F. KELSEY, BRUCE D. MACLEOD, DOUGLAS C. HOBBS
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
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