System and method for cooling workpieces processed by an ion implantation system

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	PETER H. ROSE, ADAM A. BRAILOVE, JULIAN G. BLAKE, ZHONGMIN YANG, KENNETH H. PURSER
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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