DURCH WÄRME VERNETZBARE HYDROXYAMINO-UNTERSCHICHT FÜR LITHOGRAPHIE 193 MN

A photolithographic sensitive coated substrate comprising a thermally cured undercoat on the substrate, and a radiation-sensitive resist topcoat on the thermally cured undercoat.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: FOSTER, PATRICK, BIAFORE, JOHN JOSEPH, STEINHAUSLER, THOMAS, SLATER, SIDNEY GEORGES, BLAKENEY, ANDREW J
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:A photolithographic sensitive coated substrate comprising a thermally cured undercoat on the substrate, and a radiation-sensitive resist topcoat on the thermally cured undercoat.