DURCH WÄRME VERNETZBARE HYDROXYAMINO-UNTERSCHICHT FÜR LITHOGRAPHIE 193 MN
A photolithographic sensitive coated substrate comprising a thermally cured undercoat on the substrate, and a radiation-sensitive resist topcoat on the thermally cured undercoat.
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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Zusammenfassung: | A photolithographic sensitive coated substrate comprising a thermally cured undercoat on the substrate, and a radiation-sensitive resist topcoat on the thermally cured undercoat. |
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