DRUCKSENSOR FÜR STATISCHE UND DYNAMISCHE DRUCKMESSUNGEN

Die Erfindung betrifft einen Drucksensor (10) für statische und dynamische Druckmessungen, mit einem Sensorgehäuse (11) und einer druckseitig am Sensorgehäuse angeordneten Sensormembran (12), wobei im Sensorgehäuse (11) ein auf die Membranebene (ε) normal ausgerichtetes Trägerelement (15) angeordnet...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Antonio Glibusic Dipl.-Ing, Martin Baumgartner Dipl.-Ing
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die Erfindung betrifft einen Drucksensor (10) für statische und dynamische Druckmessungen, mit einem Sensorgehäuse (11) und einer druckseitig am Sensorgehäuse angeordneten Sensormembran (12), wobei im Sensorgehäuse (11) ein auf die Membranebene (ε) normal ausgerichtetes Trägerelement (15) angeordnet ist, welches mit der Sensormembran (12) zumindest indirekt in Kontakt steht, sich am Sensorgehäuse (11), vorzugsweise an dessen Boden (14), kraftschlüssig abstützt und ein Dehnungsmesselement (20) zur Gewinnung eines vom zu messenden Druck abhängigen Messsignals aufweist. Erfindungsgemäß weist das Trägerelement (15) in seiner Längserstreckung zumindest einen gekrümmten Steg (16) auf, dessen Krümmung bzw. dessen Krümmungsradius sich in Abhängigkeit der durch die Sensormembran (12) eingeleiteten Kraft ändert, wobei ein sensitiver Teil (21) des Dehnungsmesselements (20) am gekrümmten Steg (16) befestigt ist. To provide a pressure sensor that can implement an accurate and reproducible measurement even in a low pressure range.SOLUTION: The present invention relates to a pressure sensor (10) for static and dynamic pressure measurements having a sensor housing (11), and a sensor membrane (12) arranged on a pressure side of the sensor housing. A carrier element (15) oriented vertically to the membrane plane (ε) is arranged in the sensor housing (11). The carrier element is at least indirectly in contact with the sensor membrane (12). The sensor housing (11) is preferably supported on a floor (14) of the sensor housing by friction engagement, and has a strain gauge element (20) for obtaining a measurement signal in accordance with pressure to be measured. According to the present invention, the carrier element (15) has at least one curved web (16) in its longitudinal extention, a curvature of the web or radius of curvature of the web changes in accordance with force introduced by the sensor membrane (12), and a sensitive part (21) of the strain gauge element (20 ) is anchored to the curved web (16).SELECTED DRAWING: Figure 1