VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES RASTERKRAFTMIKROSKOPS UND REGEL- UND STEUEREINHEIT HIERFÜR

Verfahren zum Betrieb eines Rasterkraftmikroskops (1) mit einem elektrisch leitenden Cantilever (3), umfassend die folgenden Schritte: - Positionieren des Cantilevers in einem bestimmten Abstand über einer Probe (2); - Anregung des Cantilevers zur mechanischen Schwingung mit einer bestimmten Schwingungsfrequenz f0 und Bestimmung einer Phase Θ zwischen der Anregung des Cantilevers und dessen Schwingung. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: - Anlegen eines im Wesentlichen gleichspannungsfreien Wechselspannungssignals UC an den Cantilever, wobei das Wechselspannungssignal UC eine erste Wechselspannung mit einer ersten Frequenz ωH und einer ersten Amplitude a aufweist, wobei die erste Frequenz ωH größer als die Schwingungsfrequenz f0 ist, wobei die erste Amplitude a moduliert wird und wobei eine Frequenz ωL der Amplitudenmodulation kleiner als die Schwingungsfrequenz f0 ist; - Bestimmung einer geänderten Schwingungsfrequenz f0', welche bei dem angelegten Wechselspannungssignal UC einer unveränderten Phase Θ entspricht; - rechnerischen Bestimmung des Werts eines elektrischen Oberflächenpotentials φ anhand einer Frequenzverschiebung Δf = f0 - f0'.