Strukturiertes, piezoelektrisches Sensorelement

Die Erfindung betrifft ein strukturiertes, piezoelektrisches Sensorelement sowie einen piezoelektrischen Sensor. Um eine Rissbildung möglichst zu vermeiden, weist das Sensorelement ein oder mehrere piezoelektrische, vorzugsweise monokristalline, flächig ausgebildete Messelemente (10) auf, die zwisch...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Alexander Schricker Dr, Dietmar Kröger Dr, Franz Dreisiebner Dipl.Ing.
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	ELECTRICITY MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein strukturiertes, piezoelektrisches Sensorelement sowie einen piezoelektrischen Sensor. Um eine Rissbildung möglichst zu vermeiden, weist das Sensorelement ein oder mehrere piezoelektrische, vorzugsweise monokristalline, flächig ausgebildete Messelemente (10) auf, die zwischen Gehäuseelementen eines piezoelektrischen Sensors lagerbar und mechanisch vorspannbar sind, wobei die Messelemente (10) eine oder mehrere Ausnehmungen (11) zum Abbau von mechanischen Spannungen aufweisen, die die Messelemente (10) in Messbereiche (12) unterteilen, die durch Verbindungsbereiche (13) miteinander verbunden sind. Zum Abbau mechanischer Spannungen sind die Ausnehmungen (11) in einer Ebene normal zur Krafteinleitung angeordnet.