PIEZOELEKTRISCHER DRUCKSENSOR ZUM MESSEN HOHER DRÜCKE

Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischer Drucksensor zum Messen hoher Drücke, mit einem in eine Messbohrung einsetzbaren Gehäuse (1) und einem piezoelektrischen Messelement (4), das zwischen einer frontseitig am Gehäuse (1) angeordneten Sensormembran (5) und einer inneren Gehäuseschulter (11a;...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Dr. Michael Hirschler, Martin Dipl.Ing. Baumgartner, Dipl.Ing. Wolfgang Michelitsch
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischer Drucksensor zum Messen hoher Drücke, mit einem in eine Messbohrung einsetzbaren Gehäuse (1) und einem piezoelektrischen Messelement (4), das zwischen einer frontseitig am Gehäuse (1) angeordneten Sensormembran (5) und einer inneren Gehäuseschulter (11a; 11b) angeordnet ist. Erfindungsgemäß besteht das piezoelektrische Messelement (4) aus einem einzigen Kristallelement (6a; 6b), das mit seiner Basisfläche (13) und seiner gegenüberliegenden Deckfläche (14) zwischen einem Druckstempel (9) der Sensormembran (5) und einer sich an der Gehäuseschulter (11a; 11b) abstützenden Ableitelektrode (8) eingespannt ist, wobei eine die Basisfläche (13) mit der Deckfläche (14) verbindende Mantelfläche (7a; 7b) des Kristallelements (6a; 6b) großteils an einer im Gehäuse (1) angeordneten Positionierhülse (12a; 12b) anliegt. The invention relates to a piezoelectric pressure sensor for measuring high pressures, comprising a housing (1) that can be inserted into a measuring hole and a piezoelectric measuring element (4) arranged between a sensor membrane (5) and the inner housing shoulder (11 a, 11 b), wherein the sensor membrane (5) is arranged on the front side at the housing (1). The piezoelectric measuring element is formed by a single crystal element (6a, 6b) which is tensioned with its base surface (13) and its opposite cover surface (14) between the pressure piston (9) of the sensor membrane (5) and a branched electrode (8) supported at the bearing shoulder (11a; 11b). The sides (7a; 7b) of the crystal element (6a, 6b), which connect the base surface (13) and the cover surface (14) are mostly abuted against positioning sleeves (12a; 12b) arranged in the housing (1).