Rohrtarget
Target (1a-d) für eine Kathodenzerstäubungsanlage mit einem rohrförmigen Targetkörper (2a-d) aus einem Zerstäubungsmaterial, und zumindest einem mit dem Targetkörper (2a-d) verbundenen, aus dem Targetkörper herausragenden, Anschlussstück (6a-d) zum Anschließen des Targetkörpers (2a-d) an eine Kathod...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
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| Zusammenfassung: | Target (1a-d) für eine Kathodenzerstäubungsanlage mit einem rohrförmigen Targetkörper (2a-d) aus einem Zerstäubungsmaterial, und zumindest einem mit dem Targetkörper (2a-d) verbundenen, aus dem Targetkörper herausragenden, Anschlussstück (6a-d) zum Anschließen des Targetkörpers (2a-d) an eine Kathodenzerstäubungsanlage wobei der Targetkörper (2a-d) mit dem zumindest einen Anschlussstück (6a-d) vakuumdicht und verdrehsicher verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem zumindest einen Anschlussstück (6a-d) und dem Targetkörper (2a-d) zumindest ein Dämpferelement (4a-d') angeordnet ist.
A target for a cathode sputtering system has a tubular target body made of a sputtering material and at least one connector piece, which is connected to the target body and projects from the target body, for attaching the target body to the cathode sputtering system. The target body is connected to the at least one connector piece in a vacuum-tight manner and the two are rotationally fixed relative to one another. At least one damper element is provided between the at least one connector piece and the target body. |
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