SENSOR PIEZOELÉCTRICO DE PELÍCULA DELGADA CON CAPACIDAD ELÉCTRICA REDUCIDA

Una configuración de electrodos segmentados que permite reducir la capacidad eléctrica de sensores piezoeléctricos de película delgada. Se metaliza sobre cada cara del material piezoeléctrico un conjunto de electrodos segmentados de modo tal que los segmentos enfrentados, en lados opuestos de la película, queden conectados eléctricamente en serie. Si se divide cada electrodo en N secciones de igual área, la capacidad del sensor se reduce en un factor N2. La reducción de la capacidad eléctrica se logra sin afectar el área efectiva ni las propiedades mecánicas del sensor. La reducción de la capacitancia simplifica el diseño y construcción de las etapas amplificadoras, haciendo posible realizar sistemas de detección con mayor resolución espacial y manteniendo el ancho de banda.