DISPOSITIVO DE SISTEMA ELECTROMECÁNICO (EMS) Y MÉTODO PARA LA ELABORACIÓN DE DICHO DISPOSITIVO

Dispositivo y método para sistemas electromecánicos que tienen vigas de las paredes laterales. En un aspecto, un dispositivo incluye un sustrato que tiene un primer electrodo y un segundo electrodo, y un transporte móvil integrado en forma monolítica con el sustrato, y que tiene una primera pared, u...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	TIMOTHY J. BROSNIHAN, RICHARD S. PAYNE, NESBITT W. IV HAGOOD, JOYCE H. WU, JASPER LODEWYK STEYN, MARK B. ANDERSSON
Format:	Patent
Sprache:	spa
Schlagworte:	OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS
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