Couches minces nanocomposites de TiN/SiNx déposées par pulvérisation magnétron réactive:propriétés électroniques, mécaniques et résistance à l'oxydation

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1. Verfasser: Diserens, Matthieu
Format: Web Resource
Sprache:fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:10.5075/epfl-thesis-2129