Editorial for the Special Issue on State-of-the-Art CMOS and MEMS Devices

Complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS) and Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) devices play significant roles in emerging research fields such as artificial intelligence (AI) [...].

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Micromachines (Basel) 2024-02, Vol.15 (3), p.327
1. Verfasser: Chen, Zhiming
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:Complementary Metal Oxide Semiconductor (CMOS) and Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) devices play significant roles in emerging research fields such as artificial intelligence (AI) [...].
ISSN:2072-666X
2072-666X
DOI:10.3390/mi15030327