Imaging MEMS motion at nano scale by time-resolved scanning electron microscopy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	BIO web of conferences 2024, Vol.129, p.9006
Hauptverfasser:	Zaghloul, Mohamed, Mehr, Abbas Kosari, Bertacco, Riccardo, Cuccurullo, Simone, Maspero, Federico, Pavese, Giulia, Chen, Hao, Ghisi, Aldo, Corigliano, Alberto, Pietralunga, Silvia M., Tagliaferri, Alberto
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	dynamics mems nanoscale sem strain
Online-Zugang:	Volltext
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