STUDY OF ADSORPTION PROPERTIES OF NANOSTRUCTURED FILMS BASED ON TIN DIOXIDE
Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований свойств поверхности наноструктурированных плёнок на основе диоксида олова методами ИК-Фурье-спектроскопии, эллипсометрии, а также индикаторным методом распределения центров адсорбции. Для дополнительной постобработки наноструктур...
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | Fiziko-himičeskie aspekty izučeniâ klasterov, nanostruktur i nanomaterialov (Online) nanostruktur i nanomaterialov (Online), 2020-12 (12()), p.162-169 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | rus |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований свойств поверхности наноструктурированных плёнок на основе диоксида олова методами ИК-Фурье-спектроскопии, эллипсометрии, а также индикаторным методом распределения центров адсорбции. Для дополнительной постобработки наноструктурированных плёнок с целью активации адсорбционных центров использовано травление в индуктивно-связной плазме.
The results of theoretical and experimental studies of surface properties of nanostructured films based on tin dioxide using Fourier-transform infrared spectroscopy, ellipsometry and the indicator method of the distribution of adsorption centers are presented. Etching in inductively coupled plasma was used for additional post-processing of nanostructured films in order to activate the adsorption centers. |
---|---|
ISSN: | 2226-4442 2658-4360 |
DOI: | 10.26456/pcascnn/2020.12.162 |