STUDY OF ADSORPTION PROPERTIES OF NANOSTRUCTURED FILMS BASED ON TIN DIOXIDE

Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований свойств поверхности наноструктурированных плёнок на основе диоксида олова методами ИК-Фурье-спектроскопии, эллипсометрии, а также индикаторным методом распределения центров адсорбции. Для дополнительной постобработки наноструктур...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Fiziko-himičeskie aspekty izučeniâ klasterov, nanostruktur i nanomaterialov (Online) nanostruktur i nanomaterialov (Online), 2020-12 (12()), p.162-169
Hauptverfasser: Сигаев, Александр Петрович, Аверин, Игорь Александрович, Карманов, Андрей Андреевич, Пронин, Игорь Александрович, Якушова, Надежда Дмитриевна
Format: Artikel
Sprache:rus
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований свойств поверхности наноструктурированных плёнок на основе диоксида олова методами ИК-Фурье-спектроскопии, эллипсометрии, а также индикаторным методом распределения центров адсорбции. Для дополнительной постобработки наноструктурированных плёнок с целью активации адсорбционных центров использовано травление в индуктивно-связной плазме. The results of theoretical and experimental studies of surface properties of nanostructured films based on tin dioxide using Fourier-transform infrared spectroscopy, ellipsometry and the indicator method of the distribution of adsorption centers are presented. Etching in inductively coupled plasma was used for additional post-processing of nanostructured films in order to activate the adsorption centers.
ISSN:2226-4442
2658-4360
DOI:10.26456/pcascnn/2020.12.162