Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Burbaum, C., Mohr, J.
Format:	Report
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:	10.5445/ir/270030770