Semi-insulating 4H-SiC lateral bulk acoustic wave resonators
Available data for the paper "Semi-insulating 4H-SiC lateral bulk acoustic wave resonators".
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Hauptverfasser: | , , |
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Format: | Dataset |
Sprache: | eng |
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Zusammenfassung: | Available data for the paper "Semi-insulating 4H-SiC lateral bulk acoustic wave resonators". |
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DOI: | 10.5281/zenodo.4568409 |