Hf layer thickness dependence of resistive switching characteristics of Ti/Hf/HfO 2 /Au resistive random access memory device

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2018-06, Vol.57 (6S1), p.6
Hauptverfasser: Nakajima, Ryo, Azuma, Atsushi, Yoshida, Hayato, Shimizu, Tomohiro, Ito, Takeshi, Shingubara, Shoso
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.7567/JJAP.57.06HD06