N 2 plasma etching processes of microscopic single crystals of cubic boron nitride

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2017-06, Vol.56 (6S2), p.6
Hauptverfasser:	Tamura, Takahiro, Takami, Takuya, Yanase, Takashi, Nagahama, Taro, Shimada, Toshihiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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