Degradation of perpendicular magnetic anisotropy in CoFeB film after H 2 plasma irradiation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2017-04, Vol.56 (4), p.46202
Hauptverfasser: Satake, Makoto, Yamada, Masaki
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.7567/JJAP.56.046202