Improvement of temperature coefficient of resistance of a VO 2 film on an SiN/polyimide/Si substrate by excimer laser irradiation for IR sensors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2014-05, Vol.53 (5S1), p.5
Hauptverfasser:	Ishizaki, Haruo, Nakajima, Tomohiko, Shinoda, Kentaro, Tohyama, Shigeru, Kurashina, Seiji, Miyoshi, Masaru, Sasaki, Tokuhito, Tsuchiya, Tetsuo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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