Evaluation of Piezoelectric Ta 2 O 5 Thin Films Deposited on Sapphire Substrates

X -axis-oriented tantalum pentoxide (Ta 2 O 5 ) piezoelectric thin films were deposited on sapphire (Al 2 O 3 ) substrates, from which single crystallization due to epitaxial growth can be expected, using an RF magnetron sputtering system. The crystallinity and Rayleigh-type surface acoustic wave (R...

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Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2013-07, Vol.52 (7S), p.7
Hauptverfasser: Iwamoto, Shunsuke, Saigusa, Ryosuke, Kakio, Shoji
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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