Effects of Heating Time and Intermediate Heating on Sol–Gel-Processed ZrO 2 Thin Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2012-09, Vol.51 (9S2), p.9
Hauptverfasser:	Lee, Seung Muk, Hwang, Soo Min, Choi, Jun Hyuk, Park, Kyung, Kim, Hyoungsub, Lim, Jun Hyung, Joo, Jinho
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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