Piezoelectric, Dielectric, and Structural Properties of Ternary (K 0.5 Na 0.5 )Nb 0.95 O 3 –BaTiO 3 –BaZrO 3 Thin Films Prepared on Pt/TiO x /SiO 2 /Si Substrates by the Chemical Solution Deposition Method

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2012-09, Vol.51 (9S1), p.9
Hauptverfasser: Shiraki, Hiroshi, Hirose, Sakyo, Kageyama, Keisuke, Ieki, Hideharu
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.7567/JJAP.51.09LA05