Improving Mobility of F-Doped SnO 2 Thin Films by Introducing Temperature Gradient during Low-Pressure Chemical Vapor Deposition
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Veröffentlicht in: | Japanese Journal of Applied Physics 2012-09, Vol.51 (9R), p.95801 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-4922 1347-4065 |
DOI: | 10.7567/JJAP.51.095801 |