Improving Mobility of F-Doped SnO 2 Thin Films by Introducing Temperature Gradient during Low-Pressure Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2012-09, Vol.51 (9R), p.95801
Hauptverfasser: Isshiki, Masanobu, Ikeda, Toru, Okubo, Junichi, Oyama, Takuji, Shidoji, Eiji, Odaka, Hidefumi, Sichanugrist, Porponth, Konagai, Makoto
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.7567/JJAP.51.095801