Application of Solid Immersion Lens-Based Near-Field Recording Technology to High-Speed Plasmonic Nanolithography

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2012-08, Vol.51 (8S2), p.8
Hauptverfasser: Park, Kyoung-Su, Kim, Taeseob, Lee, Won-Sup, Joe, Hang-Eun, Min, Byung-Kwon, Park, Young-Pil, Yang, Hyunseok, Kang, Sung-Mook, Park, No-Cheol
Format: Artikel
Sprache:eng ; jpn
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.7567/JJAP.51.08JF01