Performance Test and Evaluation of Multilevel Fresnel Zone Plate with Three-Step Profile Fabricated with Electron-Beam Lithography

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2012-02, Vol.51 (2R), p.22502
Hauptverfasser:	Takeuchi, Akihisa, Suzuki, Yoshio, Uesugi, Kentaro, Okada, Ikuo, Iriguchi, Hiroki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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