Evaluation of Misfit Relaxation in α-Ga 2 O 3 Epitaxial Growth on α-Al 2 O 3 Substrate

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Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2012-02, Vol.51 (2R), p.20201
Hauptverfasser: Kaneko, Kentaro, Kawanowa, Hitoshi, Ito, Hiroshi, Fujita, Shizuo
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.7567/JJAP.51.020201