Dielectric SiO 2 Planarization Using MnO 2 Slurry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2012-01, Vol.51 (1R), p.16501
Hauptverfasser:	Kishii, Sadahiro, Nakamura, Ko, Hanawa, Kenzo, Watanabe, Satoru, Arimoto, Yoshihiro, Kurokawa, Syuhei, Doi, Toshiro K.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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