Pulsed Electron Deposition of 50-nm-thick ZnO Film at Room Temperature

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2011-12, Vol.50 (12R), p.120209
Hauptverfasser:	Rho, Jaehoon, Yu, Kwangnam, Jeong, Rok-Hwan, Park, J. H., Chung, J.-S., Choi, Eunjip
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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