Power Spectrum of Smoothed Line-Edge and Line-Width Roughness

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2011-08, Vol.50 (8R), p.86502
Hauptverfasser:	Hiraiwa, Atsushi, Nishida, Akio
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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