Nanoimprint Fabrication and Thermal Behavior of Atomically Ultrasmooth Glass Substrates with 0.2-nm-Height Steps

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2011-07, Vol.50 (7R), p.78002
Hauptverfasser:	Miyake, Yumiko, Akita, Yasuyuki, Oi, Hideo, Mita, Masahiro, Kaneko, Satoru, Koyama, Kohji, Sunagawa, Kazuhiko, Tada, Kazuhiro, Hirai, Yoshihiko, Yoshimoto, Mamoru
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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