Critical Dimension Measurement of an Extreme-Ultraviolet Mask Utilizing Coherent Extreme-Ultraviolet Scatterometry Microscope at NewSUBARU

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2011-06, Vol.50 (6S), p.6
Hauptverfasser:	Harada, Tetsuo, Nakasuji, Masato, Tada, Masaki, Nagata, Yutaka, Watanabe, Takeo, Kinoshita, Hiroo
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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