Epitaxial Lateral Overgrowth of Gallium Nitride for Embedding the Micro-Mirror Array

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2011-04, Vol.50 (4S), p.4
Hauptverfasser: Ku, Hao Ming, Huang, Chen Yang, Liao, Chen Zi, Chao, Shiuh
Format: Artikel
Sprache:eng ; jpn
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.7567/JJAP.50.04DG07