Effect of O - Ion Beam Irradiation during RF-Magnetron Sputtering on Characteristics of CoFeB–MgO Magnetic Tunnel Junctions

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2011-02, Vol.50 (2R), p.23001
Hauptverfasser:	Ono, Kazunaga, Ohshima, Norikazu, Goto, Kazuya, Yamamoto, Hiroki, Morita, Tadashi, Kinoshita, Keizo, Ishijima, Tatsuo, Toyoda, Hirotaka
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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