Fabrication of ZnO Thin-Film Transistors by Chemical Vapor Deposition Method using Zinc Acetate Solution

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2011-01, Vol.50 (1S2), p.1
Hauptverfasser: Alias, Afishah, Hazawa, Kouta, Kawashima, Nobuaki, Fukuda, Hisashi, Uesugi, Katsuhiro
Format: Artikel
Sprache:eng ; jpn
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.7567/JJAP.50.01BG05