Removal of Diamond-Like Carbon Film by Oxygen-Dominated Plasma Beam Converted from Filtered Carbon-Cathodic Arc

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2011-01, Vol.50 (1S1), p.1
Hauptverfasser:	Tanoue, Hideto, Kamiya, Masao, Suda, Yoshiyuki, Takikawa, Hirofumi, Oke, Shinichiro, Hasegawa, Yushi, Taki, Makoto, Tsuji, Nobuhiro, Ishikawa, Takeshi, Yasui, Haruyuki
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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