Residual Strain Evaluation by Cross-Sectional Micro-Reflectance Spectroscopy of Freestanding GaN Grown by Hydride Vapor Phase Epitaxy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2011-01, Vol.50 (1S1), p.1
Hauptverfasser:	Geng, Huiyuan, Yamaguchi, A Atsushi, Sunakawa, Haruo, Sumi, Norihiko, Yamamoto, Kazutomi, Usui, Akira
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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